中华民国初期（北洋政府时期），行政区划基本承袭自清朝，但也有所变更，曾经设立了四大特别行政区，南京国民政府成立后，这四大特别行政区先后改设为省，新中国成立后先后撤销。
民国四大特别行政区都成立于年，它们分别是：热河特别行政区、察哈尔特别行政区、绥远特别行政区及川边特别行政区。
热河特别区成立于年，下辖热河道及昭乌达盟、卓索图盟等地，总面积约18万平方公里，大致相当于现在的内蒙古赤峰市全部、通辽市大部、河北承德市大部、辽宁锦州市一部、阜新市一部。年，热河正式改设为省，省会承德，为塞北四省之一。年，热河全省解放，成立热河省人民政府。年，热河省撤销，其辖地分别划归河北省、辽宁省和内蒙古自治区。
年，北洋政府以直隶省口北道和绥远都统、察哈尔部、锡林郭勒盟设置察哈尔特别区，总面积约28万平方公里，大致相当于现在的河北省张家口市，北京市延庆县，内蒙古自治区锡林郭勒盟大部，乌兰察布市东境。年，察哈尔改设为省，省会万全县，后改为张家口市。年12月，察哈尔省解放，年，察哈尔省人民政府成立，省会张家口市，年撤销建制，分别划归山西、河北两省。
清朝时期，绥远为漠南蒙古一部分，后设归绥道，隶属于山西省。年，北洋政府以归绥道为基础，划入土默特左、右二旗，伊克昭盟和乌兰察布盟成立绥远特别区。年，绥远特别区改设为绥远省，省会归绥市（今呼和浩特市），为塞北四省之一，辖地大致相当于现在的内蒙古巴彦淖尔市、鄂尔多斯市、呼和浩特市、乌兰察布市大部及乌海市一部，总面积约33万平方公里。年，绥远和平解放，成立绥远省人民政府，年撤销，并入内蒙古自治区。
清朝末年，川边地区发生动乱，清政府在此设立川滇边务大臣，民国建立后改称川边经略使，后降为川边镇抚使。年，川边特别区正式成立，辖区包括今四川甘孜藏族自治州、雅安、攀枝花、凉山彝族自治区和西藏昌都地区。年，国民政府决定成立西康省，但直到年西康省才正式成立，省会为康定。年，西康和平解放，年成立西康省人民政府，年撤销，金沙江以东划归四川，以西划归西藏。